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产品名称: PARKER派克膜片减压阀
产品时间: 2020-06-01
产品型号: SQ2MICRO 系列
产品特点: PARKER派克膜片减压阀
SMSQ2Micro 减压阀用于狭小空间需要精确压力控制的UHP超高纯使用点应用。提供优xiu的可靠性和泄露完整性,使其成为关键的半导体操作的理想选择。

PARKER派克膜片减压阀 的详细介绍

PARKER派克膜片减压阀产品描述:

派克Veriflo产品组SMSQ2Micro (0.06 Cv)和SMSQ2Micro130E (0.15 Cv)是市场上先进的微型超高纯减压阀。产品提供精密且稳定的压力控制,提高了MFC(质量流量控制器)的性能,这对半导体生产的重复性和产量至关重要。产品同样表现出优异的泄露完整性和底粒子生成,以减少对半导体应用中至关重要的的过程污染.


减压阀适用于惰性气体和腐蚀性气体,为阶跃函数流量需求变化提高出色响应。产品采用自动定心束缚膜片设计,提供稳定阀座密封和压力调节。没有阀芯弹簧和阀座滞留螺纹,这样大限度减少粒子生成和截留,进一步提高工艺清洁度和吹扫性能. 

SMSQ2Micro接液部件由特殊金属制备,提供优异的耐腐蚀性和泄漏完整性。阀体材料为内部电解抛光 Vericlean™ 316L不锈钢。Vericlean™ 是派克公司的UHP超高纯级不锈钢。膜片和阀芯材料为哈氏合金 C-22®。这些材料与SMSQ2Micro系列设计特点相结合,使SMSQ2Micro系列具有强耐腐蚀性和更高循环寿命,入口压力高达250. SMSQ2Micro和SMSQ2Micro130E均采用与量子阀相同间距接口,符合SEMI模块化接口规范.SMSQ2Micro系列减压阀的内部(阀座)密封和金属外部密封通过氦泄漏测试,使用质谱仪以获得在苛刻超高纯应用中的性能和稳定性.

 

PARKER派克膜片减压阀特点和优势:

  • 有C 和 W密封贴面安装1-1/8

    和1-1/2

    阀体尺寸 
    • 极低粒子数
    • 束缚膜片有效减少接液部件的弹簧,增加安全性
    • SMSQ2Micro0.06 Cv,SMSQ2Micro130E 0.15 Cv
    • 出口压力范围: -10 psig 到 60 psig
    • 内漏率:≤ 5 x 10-8 scc/sec立方厘米/秒 He 
    • 外漏率:≤ 2 x 10-10 scc/sec立方厘米/秒 He
    • 5微英寸(Ra粗糙度)电解抛光表面处理
    • 工作压力范围:-40°F 至 +150° F (-40°C 至 +66°C) 

 

PARKER派克膜片减压阀应用:
• 腐蚀性和特殊气体
• 半导体工具
• 工具挂钩
• 气体柜
• 阀组箱 (VMB)

 

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